Comparison of global nonlinear models and "model-on-demand" estimation applied to identification of a RTP wafer reactor
- Författare
- (M. W. Braun ..)
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Linköping University Electronic Press | 2001 | Sverige, Linköping | 6 sidor. |